第一、測量結束后，需要退出系統，關閉電腦，切斷電源及氣源。
第二、每個工作日打開過濾器的閥門放一次水。
第三、輪廓儀配件要注意防銹。
第四、測量完畢后用棉花拈航空汽油清洗工作臺及夾具，并涂油防銹。
第五、需要定期（時間視環境定）清潔氣浮導軌，以保證導軌的精度。
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