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還在到處尋求微細工件的測量方法嗎?
來源:本站 更新時間:2023-2-18 13:46:00 瀏覽量:

近年來,汽車電動化、5G通信、IoT技術的日益升級和技術革新正在以前所未有的速度不斷進化。精密零部件的加工和測量也正在發生很多變化:

面對表面形狀的日益精細化,傳統的影像測量機的自動對焦變得越發困難。
例)對直徑10μm以下的凹形形狀很難實現對焦。



工件形狀的橫縱比越來越大,影像測量機因為光學上的限制,在測量時容易產生高度上的誤差。

對任意斷面的尺寸測量的要求越來越多。


對于這些發展需求,大多數的用戶通過使用多類型測量機共同完成,不但增加了測量室的成本,在多臺設備之間切換測量也會大大降低工作效率。
如果將這些測量功能集于一身,會是一臺怎樣的設備?



由此,配備白光干涉鏡頭的影像測量機Hyper Quick Vision WLI系列應運而生了。

WLIWhite Light Interferometer(白光干涉)


WLI的測量原理

白色光分成兩道光束,一道光束射向干涉物鏡內的參考反射鏡,另一道光束射向被測物。
當干涉物鏡在Z方向上掃描時,僅在與被測物對焦的位置上產生白色的干涉條紋。
在找到該條紋的強度最高位置后,通過CCD照相機檢出各個像素,即可計算出被測物的3D形狀。


測量原理示意圖


WLI測量機的特長

Hyper Quick Vision WLI系列配備了雙鏡頭——影像光學測頭和WLI光學測頭,在一臺機器上同時實現2D坐標/尺寸、3D形狀測量的非接觸式測量。


●2D/3D測量無縫切換,提升測量效
配備雙鏡頭,可實現一機兩用,測量模式可無縫切換。在完成影像測量后,無需更改設置即可切換到3D測量,實現連續測量,提升效率。


●雙鏡頭可輕松確定目標測量位置
使用低倍率·廣視角的光學鏡頭進行定位后,即使切換到高倍率的WLI光學鏡頭,也能輕松鎖定測量位置,實現高效率測量。

影像光學測頭和WLI光學鏡頭的偏移量經過高精度的校準

●輕松對應多種測量表面
WLI方法擅長應對多種測量表面,包括漫反射表面和鏡像表面。
憑借三豐開發的算法,WLI光學測頭支持測量畫面明暗度差異大的工件表面。


測量示例:塑料和金屬的混合材料的工件表面

●本體結構保證大范圍也能高精度測量
WLI系列采用固定橋式和移動工作臺的構造,有利于X軸、Y軸相互獨立運動,保證高精度測量。此外還標配了氣動式自動調平隔振器除振臺,提高測量的穩定性。




測量應用示例

WLI光學鏡頭可實現零點幾微米的高精度3D形狀測量,在細微部分的表面分析、小徑孔深、基板配線尺寸等測量發揮威力。

*半導體封裝基板 


*激光加工孔


*金屬薄膜


*電極